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赛微电子:硅麦克风、电子烟开关已实现量产, BAW滤波器正进行小批量试产

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  赛微电子7月19日在互动平台表示,对于公司北京FAB3,硅麦克风、电子烟开关已实现量产, BAW滤波器正在进行小批量试产,加速度计、气体、振镜、微流控、压力、微扬声器、硅光子、光刻机透镜部件等MEMS器件正积极从工艺开发向验证、试产、量产阶段推进。

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